2019年3月8日，至纯洁净系统科技股份公司从上海市经济和信息化委员会领取了“上海市企业技术中心”铜牌，获得上海市第24批企业技术中心认定。
至纯科技企业技术中心专注于高纯工艺技术和半导体核心工艺装备的研发，同时配套建设了研发中试车间、一个检测实验室和一个计量实验室，用于新设备的样机开发试制和工艺性能测试等，并设有院士工作站。至纯科技组建优秀研发团队，以客户的工艺需求为导向，在产品研发和升级中不断创新，建立了自主科研创新体系。公司目前已取得近300项专利，软件著作权100余项，其中发明专利近90项。
企业技术中心认定是国家推动企业层面科技创新的重要形式，也是企业自身核心竞争力的体现，更是企业在发展过程中战略能力建设的重要内容。获得“上海市企业技术中心”认定不仅代表了市级政府主管部门对至纯科技创新能力的认可，也为至纯科技用好政府创新平台、不断增强公司研发能力，引领行业技术发展创造了良好的条件。
至纯科技致力于为泛半导体产业客户提供高纯工艺系统和湿法工艺装备，以“关注核心工艺，服务关键制程需求”为战略，立志成为国内领先的半导体工艺装备和材料供应商，并代表本土品牌参与国际竞争。
